在包含某種元素的樣品中，照射一次X射線，就會產生元素1的熒光X射線，不過這個時候的熒光X射線的強度會隨著樣品中元素A的含量的變化而改變。元素1的含量多，X射線熒光光譜儀的強度就會變強。注意到這一點，如果預先知道已知濃度樣品的X熒光光譜儀X射線強度，就可以推算出樣品中元素A的含量。

利用 X熒光光譜儀X射線 進行定量分析的時候，大致分為3個方法。一個是制作測量線的方法（經驗系數法）。這個方法是測定幾點實際的已知濃度樣品，尋求想測定元素的 X熒光光譜儀X射線強度和濃度之間的關系，以其結果為基礎測定未知樣品取得X熒光光譜儀X射線 ，從而得到濃度值。

手持式X熒光光譜儀

另一個方法是理論演算的基礎參數法（FP法）。這個方法在完全了解樣品的構成和元素種類前提，利用計算的各個X熒光光譜儀X射線強度的理論值，推測測定得到未知樣品各個元素的X熒光光譜儀X射線強度的組成一致。

NBS-GSC法也稱作理論Alpha系數法。它是基于X熒光光譜儀X射線激發(fā)的基本原理，從理論上使用基本物理參數計算出樣品中每個元素的一次和二次特征X射線熒光強度的?；诖嗽儆嬎鉒achance綜合校正系數，然后使用這些理論α系數去校正元素間的吸收增強效應。

它與經驗系數法不同，這些校正系數是從“理論”上取得的，而非建立在“經驗”上。因而它也不需要那么多的標樣，只要少數標樣來校準儀器因子。