X射線熒光光譜儀有多種，以能量色散和波長(zhǎng)色散為主。
1． 能量色散熒光光譜儀
能量色散型儀器大的優(yōu)點(diǎn)是不破壞被測(cè)的材料或產(chǎn)品，也不需要專業(yè)人員操作，缺點(diǎn)是對(duì)鉻和溴是總量測(cè)定（一般不影響使用，因?yàn)楹芏嗲闆r可以判定，如測(cè)鉻總量超標(biāo)，常可知是不是六價(jià)鉻超標(biāo)，特別是溴，如被作為阻燃劑加入，不管是那種溴，總量超標(biāo)就不合格）。
進(jìn)口或國產(chǎn)的各種能量色散熒光光譜儀技術(shù)水平雖有差別，但已夠應(yīng)對(duì)RoHS檢測(cè)，用戶應(yīng)根據(jù)自己的能力來選購國產(chǎn)或進(jìn)口的。國產(chǎn)的XR-306能量色散X射線熒光光譜儀也能滿足RoHS的檢測(cè)。
2．波長(zhǎng)色散熒光光譜儀。
此種儀器的靈敏度比能量色散的高一個(gè)數(shù)量級(jí)，也就是說，所測(cè)的數(shù)據(jù)并不存在“灰色地域”，不存在測(cè)定后還需拿到檢測(cè)機(jī)構(gòu)復(fù)檢。但儀器的價(jià)格比能量色散的貴很多，
 特別是進(jìn)口的都在百萬元以上，所以沒有外國公司建議用。儀器操作和能量色散一樣，不需要專業(yè)人員。
國產(chǎn)BX-100R是波長(zhǎng)色散熒光光譜儀。價(jià)格比進(jìn)口的能量色散型的還便宜，使用壽命也比能量色散的長(zhǎng)一倍（主要指探測(cè)器，能量型的一般為5年，波長(zhǎng)型的一般為10年）。
波長(zhǎng)型大優(yōu)點(diǎn)是用在原材料廠上，其測(cè)定的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確，給生產(chǎn)廠以確信的合格材料。
缺點(diǎn)是，波長(zhǎng)法需將被測(cè)材料粉碎壓制成樣本后測(cè)才準(zhǔn)確。所以，用在材料廠適合。如不制成樣本（非破壞），會(huì)因材料表面形狀不同而產(chǎn)生不同誤差。

性能優(yōu)勢(shì):
下照式：可滿足各種形狀樣品的測(cè)試需求 
準(zhǔn)直器和濾光片：多種準(zhǔn)直器和濾光片的電動(dòng)切換，滿足各種測(cè)試方式的應(yīng)用 
移動(dòng)平臺(tái)：精細(xì)的手動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)，方便定位測(cè)試點(diǎn) 
高分辨率探測(cè)器：提高分析的準(zhǔn)確性 
新一代高壓電源和X光管：性能穩(wěn)定可靠，實(shí)現(xiàn)更高的測(cè)試效率，高達(dá)100W的功率實(shí)現(xiàn)更高的測(cè)試效率
技術(shù)指標(biāo):
元素分析范圍：硫（S）～鈾（U） 
檢出限：1ppm
分析含量：1ppm～99.99 
重復(fù)性：0.05（含量96以上） 
穩(wěn)定性：0.05（含量96以上）

相比之前的傳統(tǒng)的ROHS檢測(cè)儀，雖然它們大多型號(hào)也能在原基礎(chǔ)升級(jí)為鹵素測(cè)試，但需在硬件和軟件上做較大的改動(dòng)，且成本較高，目前市場(chǎng)上的能測(cè)ROHS和鹵素的儀器都是分體式設(shè)計(jì)，成本較高些，而天瑞的EDX1100在算法軟件上，將ROHS測(cè)試和鹵素測(cè)試一體化，兩者化二為一，等于是一個(gè)整體，在產(chǎn)品成本上大大得到了壓縮，也等于是直接讓利了客戶，相比之前分體式設(shè)計(jì)也能同時(shí)檢測(cè)ROHS和鹵素的機(jī)臺(tái)，EDX1100的一體化設(shè)計(jì)，成本至少降低了30，EDX1100也采用的是新一代的鈹窗X大功率光管，壽命提高了5000小時(shí)，在應(yīng)用上屬于通用于ROHS檢測(cè)儀器，廣泛應(yīng)用于塑膠，五金，電子電器，化工等生產(chǎn)和制造領(lǐng)域環(huán)保臨測(cè)。
技術(shù)參數(shù)
測(cè)量元素范圍 ：硫（S）～鈾（U）測(cè)量時(shí)間：200S
檢出限：分析檢出限可達(dá)2ppm，薄可測(cè)試0.005μm含量范圍：1ppm～99.9穩(wěn)定性：0.01管壓：5～50KV管流：≤1000uA探測(cè)器：SDD探測(cè)器，分辨率可達(dá)125eV準(zhǔn)直器：6種準(zhǔn)直器自動(dòng)切換濾光片：5種濾光片自由切換樣品觀察：高清工業(yè)攝像頭環(huán)境濕度：≤70環(huán)境溫度：15℃～30℃電源：交流220V±5V（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源）

技術(shù)指標(biāo):
元素分析范圍：硫（S）～鈾（U） 
分析含量：0.1ppm～99.9
重復(fù)性：0.1
穩(wěn)定性：0.1
環(huán)境溫度：15℃～30℃ 
電源：交流220V±5V（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源）
儀器配置:
超銳X光源和樣品激發(fā)機(jī)構(gòu) 
上蓋電動(dòng)開關(guān)的大容量樣品腔 
可自動(dòng)切換的準(zhǔn)直器，濾光片 
高清晰CCD攝像頭 
Si-PIN探測(cè)器 
信號(hào)檢測(cè)電子電路 
高低壓電源 
計(jì)算機(jī)及噴墨打印機(jī) 
專業(yè)X熒光分析軟件
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